Nákvæmni vinnsla er að þróast frá míkronstigi til nanómetrastigs og ofur-nákvæmnivinnsla hefur náð 10 nanómetra víddarnákvæmni og 1 nanómetra yfirborðsgrófleika. Samsett tækni eins og hálf-föst slípiefnisvinnsla, ásamt vélrænni slípun og efnafræðilegri virkni, nær mikilli-nákvæmni flatleika í samþættri rás undirlagsvinnslu. Í framtíðinni verður áherslan lögð á að þróa tækni eins og samsetta vinnslu á mörgum-orkusviðum og snjöllum ferlistýringarkerfum til að uppfylla nákvæmniskröfur ör-vélrænnar framleiðslu og ljóshluta.
